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當半導體應變片受到外界應力的作用時，其電阻率的變化與受到應力的大小成正比。對于不同的半導體，壓阻系數和彈性模量都不一樣，所以靈敏度了不相同，但總的來說，壓阻式光電開關傳感器的靈敏系數大大高于金屬電阻應變片的靈敏系數，這是壓阻式光電開關傳感器的一個突出優點。 壓阻式光電開關傳感器的材料一般半導體應變片是沿所需的晶向將硅單晶體切成條形薄片，厚度約為0.05-0.08mm，在硅條兩端先真空鍍膜蒸發一層黃金，再用細金絲分別與兩電極焊接。硅條是感壓部分，基底起支撐和絕緣作用，采用膠膜材料，電極一般用康銅箔，外引線用鍍銀銅線。 |
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