水是一種強(qiáng)極性的電介質(zhì)。水分子極易吸附于固體表面并滲透到固體內(nèi)部，引起半志體材料的電阻值降低，因此可以利用多孔陶瓷、三氧化二鋁等吸濕材料制作濕敏電阻。
常用的濕敏電阻式傳感器主要有金屬氧化物陶瓷濕敏電阻式傳感器、金屬氧化物膜型濕敏電阻式傳感器、高分子材料濕敏電阻式傳感器、光電開關(guān)傳感器等。
1、金屬氧化物陶瓷濕敏電阻式傳感器
金屬氧化物陶瓷濕敏電阻式傳感器是由金屬氧化物多孔陶瓷燒結(jié)而成的。燒結(jié)體上有微小的細(xì)孔，可以使感受濕度的濕敏層吸附或釋放水分子，造成其電阻值的變化。外界氣體、灰塵等附著在陶瓷基片上時(shí)，會(huì)影響傳感器的測量精度，因此在陶瓷基片外安裝由鎳鉻絲制成的加熱線圈，對陶瓷基片進(jìn)行加熱清洗，以減小測量誤差。
金屬氧化物陶瓷濕敏電阻式傳感器的電阻值的變化是隨所處環(huán)境的相對濕度的增加而減小，同時(shí)又受到周圍環(huán)境溫度的影響。
2、金屬氧化物膜型濕敏電阻式傳感器
金屬氧化物膜型濕敏電阻式傳感器在陶瓷基片上先制作梳狀電極，并固定引線，然后覆蓋上金屬氧化物，燒結(jié)或烘干使之固化成膜。它的特點(diǎn)是傳感器電阻的對數(shù)值與濕度成線性關(guān)系。具有測濕范圍廣及工作溫度范圍大等優(yōu)點(diǎn)。
3、高分子材料濕敏電阻式傳感器
高分子材料濕敏電阻式傳感器是目前發(fā)展較快的一種新型濕敏電阻式傳感器，高分子材料濕敏電阻式傳感器的吸濕材料是用可吸濕電離的高分子材料制成的，具有反應(yīng)速度快、線性程度好、成本低等特點(diǎn)。 |
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