所謂光柵，簡單地說，就是由大量等寬等間距的平行狹縫所組成的光學器件。光柵傳感器是利用光柵的莫爾條紋現(xiàn)象實現(xiàn)幾何量測量的裝置。光柵傳感器以其高精度、高分辨率和大動態(tài)范圍的優(yōu)點，廣泛應用于靜態(tài)測量、動態(tài)測量和自動化等領域 。光柵式數(shù)字傳感器廣泛用于測量位移有關的非電物理量。
光柵式數(shù)字傳感器的分類：光柵是由很多等間距的透光縫隙和不透光的刻線均勻相間排列構成的光電開關的光電器件。按其原理和用途，它又可分為物理光柵和計量光柵。物理光柵是利用光的衍射現(xiàn)象制造的，主要用于光亦分析和光波長等量的測量。講師光柵主要利用莫爾現(xiàn)象，測量方法長度、角度、速度、加速度、振動動等物理量。計量光柵按應用范圍不同又有透射光柵和反射光柵兩種，具體制作者時又可制作者成線位移的長光柵和角位移的圓光柵。按光柵的表面結構，又可分為幅值光柵和相位閃輝光柵等。幅柵是利用照相復制工藝加工使柵線與縫隙為黑白相間結構，故又稱為黑白光柵。相位光柵的橫斷面呈鋸齒狀，常用刻劃工藝加工。除了上述光柵外，目前還研制了激光全自習光柵和偏大振光柵等新型光柵。磁柵是一種磁電轉換器，其工作原理類似錄音帶。 |
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